Броудай И., Мерей Дж., Физические основы микротехнологии.
Пер. с англ.

1985, изд-во: Мир, город: Москва, стр. : 496 с., ил., обложка: Твердый издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Отличное. В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники. Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.