Таруи Я., Основы технологии сверхбольших интегральных систем (СБИС).
пер. с японск.

1985, изд-во: Радио и связь, город: Москва, стр. : 480 с., ил., обложка: Твердый издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее. В книге известного японского ученого рассмотрены методы электронно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Дана классификация различных типов дефектов, методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.