Мазель Е., Пресс Ф., Планарная технология кремниевых приборов.

1974, изд-во: Энергия, город: Москва, стр. : 384 с., обложка: Твердый издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее (легкая потертость переплета, личный штамп на титуле). В книге рассматриваются процессы, лежащие в основе планарной технологии изготовления кремниевых приборов — диодов, транзисторов и интегральных схем. Подробно излагаются вопросы, связанные с важнейшими операциями планарного технологического процесса: подготовкой кремниевых пластин, созданием маскирующих и пассивирующих слоев на их поверхности, диффузией, фотолитографией и эпитаксией. Рассмотрены операции сборки планарных приборов и методы контроля технологического процесса. Книга рассчитана на инженеров, молодых специалистов и студентов старших курсов, специализирующихся в области полупроводниковой технологии.