Разуваев Г., Грибов Б., Домрачев Г., Саламатин Б., Металлоорганические соединения в электронике

1972, изд-во: Наука, город: Москва, стр. : 479 с., обложка: Издательский переплет с суперобложкой, формат: Энциклопедический, состояние: Хорошее (суперобложка с дефектами, штамп личной библиотеки на титульном листе). В монографии обобщен и систематизирован большой материал в области применения металлоорганических соединений в электронике. Изложены аспекты практического применения металлоорганических соединений в лазерах, для получения проводящих, резистивных, диэлектрических тонких пленок, полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур, а также для получения чистых материалов, защитных покрытий и т. д. Приводится теоретическое обоснование технологического применения металлоорганических соединений в производстве ряда изделий электроники. Монография содержит фактический материал по физико-химическим свойствам металлоорганических соединений. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области химии металлоорганических соединений и производства материалов для электроники, работников промышленности, студентов, аспирантов и преподавателей вузов. Таблиц 93. Иллюстраций 192. Библ. 1923 назв.