Чистые помещения. Пер. с японск. Под ред. И.Хаякавы.
1990, изд-во: Мир, город: Москва, стр. : 456 с., ил., обложка: Издательский твердый переплет, формат: Обычный, состояние: Отличное. Книга посвящена актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Для специалистов по технологии производства изделий микроэлектроники и волоконной оптики, материалов для квантовой электроники и пленочной техники, а также технологов фармацевтической промышленности.
