Панфилов Юрий, Рябов Владимир, Цветков Юрий, Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы Учебник для техникумов
1988, изд-во: Радио и связь, город: Москва, стр. : 320 с., обложка: Твердый издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Отличное. Изложены конструкции и принцип действия оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы построения и вопросы эксплуатации промышленных роботов, систем управления с использованием ЭВМ и микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного, химико-технологического, фото-, рентгено-, электронно-литографического оборудования. Для учащихся техникумов
