Технология тонких пленок. Справочник. В 2-х томах.
Пер. с англ.

1977, изд-во: Советское радио, город: Москва, стр. : 662 с., 766 с., обложка: Издательский твердый переплет, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее, владельч. подпись. Справочник по технологии тонких пленок — фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. В т. 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления), технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры. В т. 2 рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.